導電層的排列
在該示例的電感器中,通常用符號B表示,螺旋平面線圈2形成在基板1的任一側上,軟磁合金并且在側上設置覆蓋每個線圈2和基板表面的一側的緣層3。每個緣層3被磁性膜4覆蓋,并且線圈2的中間部分通過形成在基板1的中間的通孔5彼此電連接。此外,端子6延伸到外部。每個線圈2產生的基板1的厚度。
在如上所述構造的電感器B中,通過緣層3的介入將平面線圈2放置在磁性膜4之間,從而在端子6之間形成電感器。
基板1由陶瓷基板,Si晶片基板,樹脂基板等構成。當通過使用陶瓷材料形成基板1時,可以從以下選擇材料:氧化鋁,氧化鋯,碳化硅,氮化硅,氮化鋁,滑石,莫來石,堇青石,鎂橄欖石,尖晶石等。為了使基板的熱膨脹系數接近于Si的熱膨脹系數,期望采用具有高導熱率和較高彎曲強度的材料,例如鋁鎳鐵合金。
平面線圈2由高導電性金屬材料制成,例如銅,銀,金,鋁或這些金屬的合金,并且可以串聯電連接,并且通過緣層的中間縱向或橫向地布置。另外,通過并聯配置多個平面線圈2,可以形成變壓器。此外,在基板上形成導電層之后,通過光刻可以將平面線圈2形成形狀。導電層可以通過適當的方法形成,例如壓接,電鍍,金屬噴涂,真空沉積,濺射,離子鍍,絲網印刷或燒結。